微步式驅(qū)動(dòng)原理實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度和高驅(qū)動(dòng)力
陶瓷微步電機(jī)是一種新型仿生式壓電執(zhí)行器，通過(guò)多組多維度壓電執(zhí)行器單元按照步進(jìn)式的多組動(dòng)作邏輯進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)電機(jī)動(dòng)子的直線驅(qū)動(dòng)。其主要特點(diǎn)是體積小、驅(qū)動(dòng)力大；在靜態(tài)下可以保持高夾持力，且無(wú)熱功耗；可將單步實(shí)現(xiàn)高細(xì)分，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)高分辨率；步進(jìn)式運(yùn)動(dòng)方式，可以實(shí)現(xiàn)毫米級(jí)大運(yùn)動(dòng)行程。
選配增量式光柵尺實(shí)現(xiàn)高精度定位
非接觸式光柵尺可以直接檢測(cè)運(yùn)動(dòng)臺(tái)面的位移，最大程度避免了間接位移檢測(cè)帶來(lái)的位置誤差。
可適合復(fù)雜真空環(huán)境應(yīng)用
陶瓷微步電機(jī)可選配真空版本。電機(jī)靜態(tài)下無(wú)熱功耗，不產(chǎn)生磁場(chǎng)。
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參數(shù)名稱 |
PMNL - C05 - 10N |
PMNL - C10 - 10N |
單位 |
公差 |
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運(yùn)動(dòng)軸 |
X |
X |
- |
- |
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運(yùn)動(dòng)行程 |
10 |
10 |
mm |
- |
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模擬量模式下行程 |
±2 |
±2 |
μm |
- |
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開環(huán)分辨率 |
1 |
1 |
nm |
典型值 |
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速度 |
1 |
1 |
mm/s |
最大值 |
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最大驅(qū)動(dòng)頻率 |
250 |
250 |
Hz |
±20% |
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驅(qū)動(dòng)力 |
50 |
100 |
N |
最大值 |
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保持力 |
70 |
130 |
N |
最小值 |
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工作電壓 |
-250~+250 |
-250~+250 |
V |
- |
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工作溫度范圍 |
0 - 55 |
0 - 55 |
℃ |
- |
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材料 |
鋁，不銹鋼，鈦 |
鋁，不銹鋼，鈦 |
- |
- |
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質(zhì)量 |
115 |
160 |
g |
±5% |
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電纜長(zhǎng)度 |
2 |
2 |
m |
±0.05m |
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電機(jī)接口 |
Sub - D15 公頭 |
Sub - D15 公頭 |
- |
- |
