• 1000N推力
  • 10億次使用壽命的壓電陶瓷
  • 亞納米級(jí)分辨率
  • 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,體積小巧
  • 適用高真空環(huán)境10??Pa
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        上海隱冠半導(dǎo)體技術(shù)股份有限公司

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        產(chǎn)品中心詳情頁(yè)2
        壓電預(yù)壓致動(dòng)器
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        A5型壓電預(yù)壓致動(dòng)器
        主要特點(diǎn)

        • 1000N推力
        • 10億次使用壽命的壓電陶瓷
        • 亞納米級(jí)分辨率
        • 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,體積小巧    
        • 適用高真空環(huán)境10??Pa

        規(guī)格書下載 使用手冊(cè)獲取
        主要應(yīng)用
        • 靜態(tài)和動(dòng)態(tài)精密定位
        • 光纖定位調(diào)節(jié)
        • 激光調(diào)諧    
        • 微納技術(shù)
        性能簡(jiǎn)介

        預(yù)壓致動(dòng)器是一種壓電陶瓷疊堆的鎧裝設(shè)備,起到保護(hù)疊堆和方便安裝的作用,同時(shí)預(yù)壓致動(dòng)器內(nèi)部對(duì)壓電陶瓷施加了預(yù)壓力,可提供一定的拉力和對(duì)位移輸出的調(diào)節(jié)。預(yù)壓致動(dòng)器可內(nèi)部集成應(yīng)變片實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制。

        機(jī)械尺寸圖

        默認(rèn)輸出端為球頭,可定制其他輸出端結(jié)構(gòu)。

         

        技術(shù)參數(shù)
        <<<左滑查看更多參數(shù)

         

        PAPL - A5 - 36N

        PAPL - A5 - 45N

        PAPL - A5 - 60N

        PAPL - A5 - 90N

        單位

        公差

        行程@150V*

        40

        50

        65

        100

        μm

        ±20%

        電容**

        3

        3.8

        5

        7.5

        μF

        ±20%

        開環(huán)分辨率

        0.36

        0.45

        0.6

        0.9

        nm

        典型值

        集成傳感器

        SGS

         

         

        /

        閉環(huán)分辨率***

        0.72

        0.9

        1.2

        1.8

        nm

        典型值

        諧振頻率

        12

        10

        7

        4

        kHz

        ±20%

        剛度

        20

        17

        12

        8

        N/μm

        ±20%

        推力****

        850

        850

        850

        850

        N

        最大值

        拉力

        150

        150

        150

        150

        N

        最大值

        工作電壓

        -20~150

        V

        /

        工作溫度范圍

        -20~80

        °C

        /

        電壓接口

        LEMO FFA.00.250

         

        /

        傳感器接口

        LEMO FFA.0S.304

         

        /

        線長(zhǎng)

        1.5

        m

        ±0.02

        * 空載下位移輸出
        ** 電容測(cè)試條件:常溫環(huán)境,1Vpp,1kHz
        *** 閉環(huán)參數(shù)只適用閉環(huán)版本的壓電預(yù)壓致動(dòng)器
        **** 推力測(cè)試:驅(qū)動(dòng)電壓0~150V
        其他規(guī)格可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制

        型號(hào)解讀
        <<<左滑查看更多參數(shù)

        定制信息

        PAPL系列A5型壓電預(yù)壓致動(dòng)器,開環(huán)版本

        型號(hào)

        說(shuō)明

        PAPL-A5-36N

        A5型壓電預(yù)壓致動(dòng)器,有效行程40μm,開環(huán)

        PAPL-A5-45N

        A5型壓電預(yù)壓致動(dòng)器,有效行程50μm,開環(huán)

        PAPL-A5-60N

        A5型壓電預(yù)壓致動(dòng)器,有效行程65μm,開環(huán)

        PAPL-A5-90N

        A5型壓電預(yù)壓致動(dòng)器,有效行程100μm,開環(huán)

         

        PAPL系列A5型壓電預(yù)壓致動(dòng)器,應(yīng)變片閉環(huán)版本

        型號(hào)

        說(shuō)明

        PAPL-A5-36S

        A5型壓電預(yù)壓致動(dòng)器,有效行程40μm,應(yīng)變片閉環(huán)

        PAPL-A5-45S

        A5型壓電預(yù)壓致動(dòng)器,有效行程50μm,應(yīng)變片閉環(huán)

        PAPL-A5-60S

        A5型壓電預(yù)壓致動(dòng)器,有效行程65μm,應(yīng)變片閉環(huán)

        PAPL-A5-90S

        A5型壓電預(yù)壓致動(dòng)器,有效行程100μm,應(yīng)變片閉環(huán)

         

        PAPL系列A5型壓電預(yù)壓致動(dòng)器,開環(huán)、真空兼容版本

        型號(hào)

        說(shuō)明

        PAPL-A5-36NU

        A5型壓電預(yù)壓致動(dòng)器,有效行程40μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

        PAPL-A5-45NU

        A5型壓電預(yù)壓致動(dòng)器,有效行程50μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

        PAPL-A5-60NU

        A5型壓電預(yù)壓致動(dòng)器,有效行程65μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

        PAPL-A5-90NU

        A5型壓電預(yù)壓致動(dòng)器,有效行程100μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

         

        PAPL系列A5型壓電預(yù)壓致動(dòng)器,應(yīng)變片閉環(huán)、真空兼容版本

        型號(hào)

        說(shuō)明

        PAPL-A5-36SU

        A5型壓電預(yù)壓致動(dòng)器,有效行程40μm,應(yīng)變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

        PAPL-A5-45SU

        A5型壓電預(yù)壓致動(dòng)器,有效行程50μm,應(yīng)變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

        PAPL-A5-60SU

        A5型壓電預(yù)壓致動(dòng)器,有效行程65μm,應(yīng)變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

        PAPL-A5-90SU

        A5型壓電預(yù)壓致動(dòng)器,有效行程100μm,應(yīng)變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

         

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