預(yù)壓致動器是一種壓電陶瓷疊堆的鎧裝設(shè)備，起到保護疊堆和方便安裝的作用，同時預(yù)壓致動器內(nèi)部對壓電陶瓷施加了預(yù)壓力，可提供一定的拉力和對位移輸出的調(diào)節(jié)。預(yù)壓致動器可內(nèi)部集成應(yīng)變片實現(xiàn)閉環(huán)控制。
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單位 |
公差 |
PAPL-C5-18N |
PAPL-C5-36N |
PAPL-C5-54N |
PAPL-C5-60N |
PAPL-C5-90N |
PAPL-C5-108N |
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行程@150V* |
μm |
±20% |
18 |
36 |
54 |
60 |
90 |
108 |
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電容** |
μF |
±20% |
1.5 |
3 |
4.5 |
6 |
7.5 |
9 |
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開環(huán)分辨率 |
nm |
典型值 |
0.18 |
0.36 |
0.54 |
0.72 |
0.9 |
1.08 |
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集成傳感器 |
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SGS |
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閉環(huán)分辨率*** |
nm |
典型值 |
0.36 |
0.72 |
1.08 |
1.44 |
1.8 |
2.16 |
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諧振頻率 |
kHz |
±20% |
18 |
14 |
10 |
8.5 |
7 |
6 |
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剛度 |
N/μm |
±20% |
57 |
27 |
19 |
15 |
12 |
10 |
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推力**** |
N |
最大值 |
1000 |
1000 |
1000 |
1000 |
1000 |
1000 |
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拉力 |
N |
最大值 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
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工作電壓 |
V |
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-20~150 |
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工作溫度范圍 |
°C |
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-20~80 |
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電壓接口 |
LEMO FFA.00.250 |
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傳感器接口 |
LEMO FFA.0S.304 | |||||||
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線長 |
m |
±0.02m |
1.5 |
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| * 空載下位移輸出 |
| ** 電容測試條件：常溫環(huán)境，1Vpp，1kHz |
| *** 閉環(huán)參數(shù)只適用閉環(huán)版本的壓電預(yù)壓致動器 |
| **** 推力測試：驅(qū)動電壓0~150V |
| 其他規(guī)格可根據(jù)客戶需求進行定制 |
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PAPL系列C5型壓電預(yù)壓致動器，開環(huán)版本 |
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型號 |
說明 |
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PAPL-C5-18N |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器，有效行程18μm，開環(huán) |
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PAPL-C5-36N |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器，有效行程36μm，開環(huán) |
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PAPL-C5-54N |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器，有效行程54μm，開環(huán) |
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PAPL-C5-60N |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器，有效行程60μm，開環(huán) |
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PAPL-C5-90N |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器，有效行程90μm，開環(huán) |
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PAPL-C5-108N |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器，有效行程108μm，開環(huán) |
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PAPL系列C5型壓電預(yù)壓致動器，應(yīng)變片閉環(huán)版本 |
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型號 |
說明 |
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PAPL-C5-18S |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器，有效行程18μm，應(yīng)變片閉環(huán) |
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PAPL-C5-36S |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器，有效行程36μm，應(yīng)變片閉環(huán) |
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PAPL-C5-54S |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器，有效行程54μm，應(yīng)變片閉環(huán) |
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PAPL-C5-60S |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器，有效行程60μm，應(yīng)變片閉環(huán) |
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PAPL-C5-90S |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器，有效行程90μm，應(yīng)變片閉環(huán) |
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PAPL-C5-108S |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器，有效行程108μm，應(yīng)變片閉環(huán) |
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PAPL系列C5型壓電預(yù)壓致動器，開環(huán)、真空兼容版本 |
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型號 |
說明 |
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PAPL-C5-18NU |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器，有效行程18μm，開環(huán)，真空兼容至10??Pa |
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PAPL-C5-36NU |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器，有效行程36μm，開環(huán)，真空兼容至10??Pa |
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PAPL-C5-54NU |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器，有效行程54μm，開環(huán)，真空兼容至10??Pa |
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PAPL-C5-60NU |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器，有效行程60μm，開環(huán)，真空兼容至10??Pa |
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PAPL-C5-90NU |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器，有效行程90μm，開環(huán)，真空兼容至10??Pa |
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PAPL-C5-108NU |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器，有效行程108μm，開環(huán)，真空兼容至10??Pa |
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PAPL系列C5型壓電預(yù)壓致動器，應(yīng)變片閉環(huán)、真空兼容版本 |
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型號 |
說明 |
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PAPL-C5-18SU |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器，有效行程18μm，應(yīng)變片閉環(huán)，真空兼容至10??Pa |
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PAPL-C5-36SU |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器，有效行程36μm，應(yīng)變片閉環(huán)，真空兼容至10??Pa |
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PAPL-C5-54SU |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器，有效行程54μm，應(yīng)變片閉環(huán)，真空兼容至10??Pa |
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PAPL-C5-60SU |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器，有效行程60μm，應(yīng)變片閉環(huán)，真空兼容至10??Pa |
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PAPL-C5-90SU |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器，有效行程90μm，應(yīng)變片閉環(huán)，真空兼容至10??Pa |
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PAPL-C5-108SU |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器，有效行程108μm，應(yīng)變片閉環(huán)，真空兼容至10??Pa |
