預(yù)壓致動器是一種壓電陶瓷疊堆的鎧裝設(shè)備，起到保護(hù)疊堆和方便安裝的作用，同時(shí)預(yù)壓致動器內(nèi)部對壓電陶瓷施加了預(yù)壓力，可提供一定的拉力和對位移輸出的調(diào)節(jié)。預(yù)壓致動器可內(nèi)部集成應(yīng)變片實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制。
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單位 |
公差 |
PAPL-C7-18N |
PAPL-C7-36N |
PAPL-C7-54N |
PAPL-C7-72N |
PAPL-C7-90N |
PAPL-C7-108N |
PAPL-C7-180N |
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行程@150V* |
μm |
±20% |
18 |
36 |
54 |
72 |
90 |
108 |
180 |
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電容** |
μF |
±20% |
3 |
6 |
9 |
12 |
15 |
18 |
30 |
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開環(huán)分辨率 |
nm |
典型值 |
0.18 |
0.36 |
0.54 |
0.72 |
0.9 |
1.08 |
1.8 |
| 集成傳感器*** | SGS | ||||||||
| 閉環(huán)分辨率*** | nm | 典型值 | 0.36 | 0.72 | 1.08 | 1.44 | 1.8 | 2.16 | 3.6 |
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諧振頻率 |
kHz |
±20% |
22 |
17.5 |
15 |
13 |
11 |
10 |
4.5 |
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剛度 |
N/μm |
±20% |
225 |
107 |
75 |
57 |
44 |
38 |
10 |
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推力**** |
N |
最大值 |
2000 |
2000 |
2000 |
2000 |
2000 |
2000 |
2000 |
|
拉力 |
N |
最大值 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
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工作電壓 |
V |
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-20~150 |
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工作溫度范圍 |
°C |
|
-20~80 |
||||||
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電壓接口 |
LEMO FFA.00.250 |
||||||||
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傳感器接口 |
LEMO FFA.0S.304 | ||||||||
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線長 |
m |
±0.02m |
1.5 |
||||||
| * 空載下位移輸出 |
| ** 電容測試條件：常溫環(huán)境，1Vpp，1kHz |
| *** 閉環(huán)參數(shù)只適用閉環(huán)版本的壓電預(yù)壓致動器 |
| **** 推力測試：驅(qū)動電壓0~150V |
| 其他規(guī)格可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制 |
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PAPL系列C7型壓電預(yù)壓致動器，開環(huán)版本 |
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型號 |
說明 |
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PAPL-C7-18N |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程18μm，開環(huán) |
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PAPL-C7-36N |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程36μm，開環(huán) |
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PAPL-C7-54N |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程54μm，開環(huán) |
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PAPL-C7-60N |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程60μm，開環(huán) |
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PAPL-C7-90N |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程90μm，開環(huán) |
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PAPL-C7-108N |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程108μm，開環(huán) |
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PAPL-C7-180N |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程180μm，開環(huán) |
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PAPL系列C7型壓電預(yù)壓致動器，應(yīng)變片閉環(huán)版本 |
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型號 |
說明 |
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PAPL-C7-18S |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程18μm，應(yīng)變片閉環(huán) |
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PAPL-C7-36S |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程36μm，應(yīng)變片閉環(huán) |
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PAPL-C7-54S |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程54μm，應(yīng)變片閉環(huán) |
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PAPL-C7-60S |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程60μm，應(yīng)變片閉環(huán) |
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PAPL-C7-90S |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程90μm，應(yīng)變片閉環(huán) |
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PAPL-C7-108S |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程108μm，應(yīng)變片閉環(huán) |
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PAPL-C7-180S |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程180μm，應(yīng)變片閉環(huán) |
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PAPL系列C7型壓電預(yù)壓致動器，開環(huán)、真空兼容版本 |
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型號 |
說明 |
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PAPL-C7-18NU |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程18μm，開環(huán)，真空兼容至10??Pa |
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PAPL-C7-36NU |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程36μm，開環(huán)，真空兼容至10??Pa |
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PAPL-C7-54NU |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程54μm，開環(huán)，真空兼容至10??Pa |
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PAPL-C7-60NU |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程72μm，開環(huán)，真空兼容至10??Pa |
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PAPL-C7-90NU |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程90μm，開環(huán)，真空兼容至10??Pa |
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PAPL-C7-108NU |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程108μm，開環(huán)，真空兼容至10??Pa |
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PAPL-C7-180NU |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程180μm，開環(huán)，真空兼容至10??Pa |
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PAPL系列C7型壓電預(yù)壓致動器，應(yīng)變片閉環(huán)、真空兼容版本 |
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型號 |
說明 |
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PAPL-C7-18SU |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程18μm，應(yīng)變片閉環(huán)，真空兼容至10??Pa |
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PAPL-C7-36SU |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程36μm，應(yīng)變片閉環(huán)，真空兼容至10??Pa |
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PAPL-C7-54SU |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程54μm，應(yīng)變片閉環(huán)，真空兼容至10??Pa |
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PAPL-C7-60SU |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程72μm，應(yīng)變片閉環(huán)，真空兼容至10??Pa |
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PAPL-C7-90SU |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程90μm，應(yīng)變片閉環(huán)，真空兼容至10??Pa |
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PAPL-C7-108SU |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程108μm，應(yīng)變片閉環(huán)，真空兼容至10??Pa |
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PAPL-C7-180SU |
C7型壓電預(yù)壓致動器，有效行程180μm，應(yīng)變片閉環(huán)，真空兼容至10??Pa |
