微步電機陶瓷模組由多層壓電陶瓷層（通過機械方式串聯(lián)）以交錯電極（電極間相互平行）的方式組成，其中包括了一定數(shù)量的壓電陶瓷厚度片與壓電陶瓷剪切片，能夠在兩軸輸出位移。其通過厚度片抬高、剪切片前進，類似尺蠖昆蟲的爬行方式來實現(xiàn)長行程。
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PANL-R001-14-16H4Q |
PANL-S06-22-5H7Q |
PANL-S06-22-7H5Q |
PANL-S06-22-12Q |
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運動軸 |
Z/X |
Z/X |
Z/X |
Z/X |
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元件高度一致性 |
≤0.03mm |
≤0.03mm |
≤0.03mm |
≤0.03mm |
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元件上頂面共面平面度 |
≤5μm |
≤5μm |
≤5μm |
≤5μm |
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元件下底面平面度 |
≤5μm |
≤5μm |
≤5μm |
≤5μm |
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元件上頂面與下底面平行度 |
≤10μm |
≤10μm |
≤10μm |
≤10μm |
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剪切壓電陶瓷驅(qū)動電壓 |
-250V~+250V |
-250V~+250V |
-250V~+250V |
-250V~+250V |
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縱向壓電陶瓷驅(qū)動電壓 |
-250V~+250V |
-250V~+250V |
-250V~+250V |
- |
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剪切壓電陶瓷位移（Y 向位移） |
≥±2μm@±250V |
≥±7μm@±250V |
≥±5μm@±250V |
≥±12μm@±250V |
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縱向壓電陶瓷位移（Z 向位移） |
≥3μm@500Vp-p(±250V) |
≥0.9μm@500Vp-p(±250V) |
≥1.5μm@500Vp-p(±250V) |
- |
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剪切壓電陶瓷最大輸出力 |
≥±100N@±250V |
≥±50N@±250V |
≥±50N@±250V |
≥±50N@±250V |
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縱向壓電陶瓷最大輸出力 |
≥2000N@+250V |
≥700N@+250V |
≥1000N@+250V |
- |
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單個壓電陶瓷腿縱向機械剛度 |
≥500N/μm |
≥250N/μm |
≥250N/μm |
≥250N/μm |
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剪切壓電陶瓷電容 |
≤40nF±15%@1Vp-p&1kHz |
≤45nF±15%@1Vp-p&1kHz |
≤30nF±15%@1Vp-p&1kHz |
≤90nF±15%@1Vp-p&1kHz |
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縱向壓電陶瓷電容 |
≤150nF±15%@1Vp-p&1kHz |
≤40nF±15%@1Vp-p&1kHz |
≤60nF±15%@1Vp-p&1kHz |
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剪切壓電陶瓷遲滯非線性 @500Vp-p |
≤40% |
≤40% |
≤40% |
≤40% |
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工作溫度 |
-25°C ~ 130°C |
-25°C ~ 130°C |
-25°C ~ 130°C |
-25°C ~ 130°C |
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居里溫度 |
280°C |
280°C |
280°C |
280°C |
| 外形尺寸 | ||||
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L |
33mm±0.1mm |
13mm±0.1mm |
13mm±0.1mm |
13mm±0.1mm |
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W |
10mm±0.1mm |
13mm±0.1mm |
13mm±0.1mm |
13mm±0.1mm |
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H |
15mm±0.005mm |
8.7mm±0.005mm |
8.7mm±0.005mm |
8.7mm±0.005mm |
*位移測試：驅(qū)動電壓 -250~250V、公差±15%；
** 外形尺寸：標注尺寸為單側(cè)陶瓷模組尺寸，不包括線路板；
*** 電容測試條件：常溫環(huán)境，1Vpp，1kHz，公差±15%。
