膜厚測量 (Thickness) 運動系統(tǒng)
在半導(dǎo)體制造業(yè)中，薄膜的厚度對器件的性能和質(zhì)量有重要影響。薄膜的厚度決定了許多重要的物理和化學(xué)性質(zhì)，對其折射、反射和透射的光學(xué)性質(zhì)有直接影響，可以導(dǎo)致顯著的量子尺寸效應(yīng)，從而改變材料的電子、光學(xué)和磁性等。準(zhǔn)確測量和控制薄膜厚度對于優(yōu)化器件性能、提高生產(chǎn)效率、確保器件可靠性等都具有重要的作用。
芯片制造
封裝設(shè)備
量檢測
