在微納制造領域，每一個納米的精度提升都意味著良率的飛躍。今天，我們自豪地推出了這一革新性的產品系列——不僅是一個運動臺，更是一個基于客戶需求的靈活解決方案。
在追求極致精密的道路上，傳統(tǒng)單一配置產品已難以滿足多元化的半導體檢測場景。我們發(fā)布的這款全新模塊化氣浮平臺，性能全面對標國際一線品牌，通過創(chuàng)新的宏動與微動組合，實現(xiàn)了六自由度的高精度控制。憑借氣浮導向減少摩擦與垂向磁浮重力補償技術，該系統(tǒng)在步進與掃描兩種工況模式下均展現(xiàn)出優(yōu)越性能——既能大幅縮短產線節(jié)拍，又能確保掃描成像質量，真正做到了一套系統(tǒng)，解決多重痛點。
我們不只提供參數(shù)，更解決難題。通過氣浮導向減少摩擦，采用磁浮重力補償降低垂向發(fā)熱，我們讓運動更加平穩(wěn)，精度更加持久。高配版本的雙向重復精度甚至可達±50nm，這是對精度的極致追求。
定位精度±200nm確保關鍵尺寸準確性，解決芯片與光學檢測良率低的痛點。
整定時間30mm 300ms@80nm，極快整定大幅縮短定位等待時間，提升設備吞吐量。
速度均勻性±0.1%，超高速度穩(wěn)定性保證線掃/面掃數(shù)據(jù)一致性，杜絕模糊失真。
靜態(tài)穩(wěn)定性±10nm，卓越熱穩(wěn)定性和結構剛度，保證長時間測量結果一致性。
我們理解每個定制型號的設備都是獨一無二的。因此，我們提供了清晰的模塊化選型路徑，從基礎到進階，滿足不同階段的客戶需求。
基礎核心配置。350mm行程，800mm/s速度。氣浮導向龍門結構搭配減振器，實現(xiàn)高速高加速及±200nm定位精度。
選配 Z、T、ZT 或 Z3T 模塊。實現(xiàn) Z, RX, RY, RZ 多自由度微調，磁浮音圈電機直驅實現(xiàn)高帶寬響應。
可選配主動/被動減振器，有效隔絕環(huán)境振動干擾，確保極致測量穩(wěn)定性，適用于超精密檢測。
