陶瓷微步電機是一種新型仿生式壓電執(zhí)行器，通過多組多維度壓電執(zhí)行器單元按照步進(jìn)式的多組動作邏輯進(jìn)行驅(qū)動，實現(xiàn)對電機動子的直線驅(qū)動。其主要特點是體積小、驅(qū)動力大；在靜態(tài)下可以保持高夾持力，且無熱功耗；可以將單步實現(xiàn)高細(xì)分，實現(xiàn)納米級高分辨率；步進(jìn)式運動方式，可以實現(xiàn)毫米級大運動行程。
非接觸式光柵尺可以直接檢測運動臺面的位移，最大程度避免了間接位移檢測帶來的位置誤差。
陶瓷微步電機可選配真空版本。電機靜態(tài)下無熱功耗，不產(chǎn)生磁場。
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單位 |
公差 |
PMNL-T23-ZT20A |
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運動軸 |
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Z |
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運動和定位 |
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Z軸運動行程 |
mm |
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±10 |
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rX軸運動行程 |
deg |
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±1.1 |
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rY軸運動行程 |
deg |
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±1 |
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傳感器 |
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線性光柵尺 |
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開環(huán)分辨率 |
nm |
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1 |
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傳感器分辨率 |
nm |
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5 |
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傳感器信號 |
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AqB |
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Z軸單向重復(fù)精度 |
nm |
典型值 |
±50 |
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rX軸單向重復(fù)精度 |
典型值 |
±1.2 μrad (0.25 arcsec) |
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rY軸單向重復(fù)精度 |
典型值 |
±1 μrad (0.21 arcsec) |
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Z軸雙向重復(fù)精度 |
nm |
典型值 |
±100 |
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rX軸雙向重復(fù)精度 |
典型值 |
±2.4 μrad (0.5 arcsec) |
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rY軸雙向重復(fù)精度 |
典型值 |
±2 μrad (0.42 arcsec) |
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速度* |
mm/s |
最大值 |
1 |
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機械特性 |
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垂向驅(qū)動力 |
N |
典型值 |
200 |
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垂向保持力 |
N |
最小值 |
300 |
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驅(qū)動性能 |
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工作電壓 |
V |
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-250~250V |
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其他 |
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工作溫度范圍 |
°C |
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0~50 |
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材料 |
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鋁合金，不銹鋼 |
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電纜長度 |
m |
±0.02m |
1.5 |
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電機接口 |
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Sub-D25 公頭 |
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傳感器接口 |
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HD-Sub44 公頭 |
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外觀尺寸 |
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長 |
mm |
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240 |
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寬 |
mm |
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240 |
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高 |
mm |
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70~96 |
* 實際運動速度取決于驅(qū)控電路功率
