中空式平面二維精密位移臺采用了XY一體化、正交性設(shè)計思想，具有超薄的輪廓尺寸和大中空的通孔尺寸，能實(shí)現(xiàn)水平向X/Y軸2自由度的高精度、高剛度直線運(yùn)動。
*接口尺寸數(shù)據(jù)來源于PLA90
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PLA90 - 100 |
PLA90 - 200 |
PLA90 - 300 |
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行程 |
±50 mm |
±100 mm |
±150 mm |
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最大速度 |
0.3 m/s |
0.5 m/s |
0.5 m/s |
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加速度 |
0.4 g |
0.4 g |
0.4 g |
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精度 |
±1.5 μm |
±2 μm |
±2 μm |
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雙向重復(fù)精度 |
±0.5 μm |
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直線度 |
±2 μm |
±3 μm |
±5 μm |
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平面度 |
±2 μm |
±3 μm |
±5 μm |
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俯仰 |
±15 arcsec |
±20 arcsec |
±25 arcsec |
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橫滾 |
±15 arcsec |
±20 arcsec |
±25 arcsec |
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偏擺 |
±15 arcsec |
±20 arcsec |
±25 arcsec |
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正交性 |
12 arcsec |
15 arcsec |
20 arcsec |
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驅(qū)動質(zhì)量_Upper axis |
5.8Kg |
8.4Kg |
11Kg |
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驅(qū)動質(zhì)量_Lower axis |
14.5Kg |
17.1Kg |
19.7Kg |
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最大負(fù)載 |
10Kg |
10Kg |
10Kg |
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平臺質(zhì)量 |
21Kg |
25.5Kg |
30Kg |
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外觀尺寸 |
380mm×380mm×90mm |
380mm×380mm×90mm |
430mm×430mm×90mm |
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平臺材料 |
航空鋁，黑色陽極氧化 |
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在PLA90系列產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實(shí)際應(yīng)用選擇的可選項?？蛇x內(nèi)容包括行程、編碼器、高精度標(biāo)定等選項。
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表1 行程選項 |
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-100 |
100mm行程位移平臺，配置直線電機(jī)和限位 |
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-200 |
200mm行程位移平臺，配置直線電機(jī)和限位 |
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-300 |
300mm行程位移平臺，配置直線電機(jī)和限位 |
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表2 編碼器選項 |
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-S1 |
增量式模擬光學(xué)式編碼器，1Vpp |
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-S2 |
增量式數(shù)字光學(xué)式編碼器，RS422 |
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-S3 |
絕對式光學(xué)式編碼器，BISS |
