• 單T軸
  • 氣浮軸承
  • 雙向重復(fù)精度:±0.5 arcsec
  • 最大轉(zhuǎn)速:1000 rpm
  • 直徑:120-220 mm
  • 中空設(shè)計,中空尺寸10-50 mm
  • 最大負載_軸向:8-66 Kg
  • 最大負載_徑向:4-36 Kg
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        上海隱冠半導(dǎo)體技術(shù)股份有限公司

        EN
        產(chǎn)品中心詳情頁2
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        ARD120精密氣浮轉(zhuǎn)臺
        主要特點

        • 高動態(tài)響應(yīng)、非接觸力矩電機驅(qū)動
        • 高精度的光學(xué)式編碼器反饋
        • 高剛度、高精度封閉式氣浮軸承設(shè)計
        • 納米級軸跳、徑跳精度
        • 超薄尺寸設(shè)計

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        主要應(yīng)用
        • 晶圓檢查
        • 高精度計量
        • X射線衍射系統(tǒng)
        • 光學(xué)檢查和制造以及MEMS/納米技術(shù)設(shè)備制造
        性能簡介

        精密氣浮轉(zhuǎn)臺以超薄的外形提供了出色的角度定位、速度穩(wěn)定性和誤差運動性能。

        機械尺寸圖

        *接口尺寸數(shù)據(jù)來源于ARD180

        技術(shù)參數(shù)
        <<<左滑查看更多參數(shù)

         

        單位

        ARD120-00

        ARD180-00

        ARD220-00

        精度

        arcsec

        ±2

        ±2

        ±2

        雙向重復(fù)精度

        arcsec

        ±0.5

        ±0.5

        ±0.5

        軸向跳動

        nm

        <180

        <100

        徑向跳動

        nm

        <450

        <250

        傾斜誤差

        arcsec

        <1

        <0.7

        連續(xù)扭矩

        N·m

        0.48

        2.36

        5.99

        最大轉(zhuǎn)速

        rpm

        1000

        1000

        1000

        機械性能

         

         

         

         

        外觀尺寸

        mm

        120

        180

        220

        中空尺寸

        mm

        10

        30

        50

        最大負載_軸向

        Kg

        8

        30

        66

        最大負載_徑向

        Kg

        4

        15

        36

        工作氣壓_軸向

        bar

        5±0.5

        工作氣壓_徑向

        bar

        6±0.5

        總質(zhì)量

        Kg

        4.5

        6.1

        8.3

        平臺材料

         

        航空鋁,黑色陽極氧化/硬質(zhì)陽極氧化

        定制信息

        在ARD120系列產(chǎn)品序列里,配置了可根據(jù)用戶實際應(yīng)用選擇的可選項??蛇x內(nèi)容包括尺寸、編碼器等選項。

        表1  尺寸選項

        -120

        120,Diameter

        -180

        180,Diameter

        -220

        220,Diameter

        表2  編碼器選項

        -S1

        增量式模擬光學(xué)式編碼器,1Vpp

        -S2

        增量式數(shù)字光學(xué)式編碼器,RS422

        -S3

        絕對式光學(xué)式編碼器,BISS

        合作咨詢
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