• 單T軸
  • 氣浮軸承
  • 雙向重復(fù)精度:±1 arcsec
  • 最大轉(zhuǎn)速:800 rpm
  • 直徑:150 mm
  • 中空設(shè)計,中空尺寸75 mm
  • 最大負(fù)載_軸向: 80 Kg
  • 最大負(fù)載_徑向:30 Kg
  • " />

  • <noscript id="lr7dn"></noscript>
        <style id="lr7dn"></style>
      <p id="lr7dn"><tr id="lr7dn"></tr></p>
      <form id="lr7dn"><tr id="lr7dn"></tr></form>

      1. <track id="lr7dn"><tbody id="lr7dn"></tbody></track>
        <style id="lr7dn"></style>

        上海隱冠半導(dǎo)體技術(shù)股份有限公司

        EN
        產(chǎn)品中心詳情頁2
        ?
        ?
        LART150精密氣浮轉(zhuǎn)臺
        主要特點(diǎn)

        • 大負(fù)載、高精度的氣浮軸承
        • 重復(fù)性高、可實(shí)現(xiàn)高定位精度
        • 高水平的加工技術(shù)
        • 靈活定制

        規(guī)格書下載 使用手冊獲取
        主要應(yīng)用
        • 半導(dǎo)體設(shè)備
        • 激光領(lǐng)域
        性能簡介

        LART150精密氣浮軸承轉(zhuǎn)臺精巧的設(shè)計,保證在極小的高度內(nèi)(65mm), 實(shí)現(xiàn)大中空(φ75);高精度的回轉(zhuǎn)精度,提供超平穩(wěn)的運(yùn)動,角秒級別的精度和絕對重復(fù)性;高超的制造水平,保證了氣浮軸承的質(zhì)量和穩(wěn)定性。

        機(jī)械尺寸圖

        *接口尺寸數(shù)據(jù)來源于LART150

        技術(shù)參數(shù)
        <<<左滑查看更多參數(shù)

         

        單位

        LART150

        臺面直徑

        mm

        150

        高度

        mm

        65

        中空尺寸

        mm

        75

        最大轉(zhuǎn)速

        rpm

        800

        峰值扭矩

        N·m

        8

        連續(xù)扭矩

        N·m

        2.6

        精度

        arcsec

        ±1.5

        雙向重復(fù)精度

        arcsec

        ±1

        最大負(fù)載_軸向

        Kg

        80

        最大負(fù)載_徑向

        Kg

        30

        軸向誤差運(yùn)動(同步)

        nm

        <100

        徑向誤差運(yùn)動(同步)

        nm

        <200

        傾斜誤差(同步)

         

        <2.5 μrad(0.5 arcsec)

        工作氣壓

        Mpa

        0.5

        耗氣量

        L/min

        <25

        總質(zhì)量

        Kg

        5

        適配驅(qū)動器

         

        DC48V Driver

        *精度檢測轉(zhuǎn)速為60rpm檢測標(biāo)準(zhǔn)為GBT+17421.7-2016(ISO230-7-2006)以及GB/T17421.22000,環(huán)境溫度為22±0.5℃

        合作咨詢
        * 為必填項(xiàng) 請?zhí)顚懸韵卤韱危枰馁Y料我們會發(fā)送至您預(yù)留的郵箱;必要的情況下銷售代表會與您聯(lián)系!
        • 該郵箱已存在無需重復(fù)填寫!更改我的信息