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產(chǎn)品中心 PRODUCT

PL90平面式二維精密位移臺(tái)

PL90平面式二維精密位移臺(tái)

X、Y兩軸
行程：±50 mm-±150 mm
雙向重復(fù)精度：±0.5 μm
最大負(fù)載：10 Kg

MZT90磁浮集成式ZT臺(tái)

MZT90磁浮集成式ZT臺(tái)

Z、T兩軸
360°無限制旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)
Z軸行程：10 mm - 30 mm （可定制）
最大轉(zhuǎn)速：150 rpm
雙向重復(fù)精度：
±0.3μm/1mm（Z軸）
±2 arcsec（T軸）
Z軸直線度：2 μm
磁浮重力補(bǔ)償技術(shù)
全閉環(huán)伺服設(shè)計(jì)
支持12'、8'、6'多種規(guī)格晶圓吸附

GS200二維精密轉(zhuǎn)臺(tái)

GS200二維精密轉(zhuǎn)臺(tái)

兩軸360°無限制旋轉(zhuǎn)萬向節(jié)系統(tǒng)
最大轉(zhuǎn)速：100 rpm
精度：±5 arcsec to ±40 arcsec
最大負(fù)載：6.8-16 Kg
中空尺寸：95-206 mm

PS150極坐標(biāo)精密位移臺(tái)

PS150極坐標(biāo)精密位移臺(tái)

X、Z、T三軸
360°無限制旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)
X軸行程：155mm
Z軸行程：30mm (可定制)
最大轉(zhuǎn)速：150rpm
雙向重復(fù)精度：
±0.5μm(X軸)
±0.2μm/1mm (Z軸)
±2 arcsec(T軸)
磁浮重力補(bǔ)償技術(shù)
主動(dòng)式風(fēng)冷/水冷散熱設(shè)計(jì)

LST190堆疊式三軸精密位移臺(tái)

LST190堆疊式三軸精密位移臺(tái)

X、Y、T三軸
360°無限制旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)
X、Y軸行程：365 mm
最大轉(zhuǎn)速：150 rpm
雙向重復(fù)精度：
±0.5μm（X、Y軸）
±2 arcsec（T軸）

L4S210堆疊式四軸精密位移臺(tái)

L4S210堆疊式四軸精密位移臺(tái)

X、Y、Z、T四軸
360°無限制旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，無管路纏繞
支持12'、8'晶圓真空吸附
X、Y軸行程：350 mm
Z軸：10 mm （可定制）
雙向重復(fù)精度：
±0.5μm（X、Y軸）
±0.3μm/1mm（Z軸）
±2 arcsec（T軸）
垂向磁浮重力補(bǔ)償
最大支持轉(zhuǎn)速150rpm
支持最大0.7mm翹曲晶圓

HS1000復(fù)合式多軸精密位移系統(tǒng)

HS1000復(fù)合式多軸精密位移系統(tǒng)

X、Y1/Y2、Z、T 四軸
機(jī)械導(dǎo)軌與氣浮導(dǎo)軌的復(fù)合應(yīng)用
360° 無限制旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，無管路纏繞
支持 12"、8"、6" 多種規(guī)格晶圓吸附
行程：
320 mm（X 軸）
550 mm（Y1/Y2）
10 mm（Z 軸，可定制）
雙向重復(fù)精度：
±0.4μm（X、Y 軸）
±0.3μm/1mm（Z 軸）
±2 arcsec（T 軸）
<...

L3S190堆疊式三維直線位移臺(tái)

L3S190堆疊式三維直線位移臺(tái)

X、Y、Z三軸
X、Y軸行程：350 mm
Z軸：9 mm （可定制）
雙向重復(fù)精度：
±1μm（X、Y軸）
±1μm & ±0.3μm/1 mm（Z軸）
最大負(fù)載：5 Kg

Z3T70多軸微動(dòng)臺(tái)

Z3T70多軸微動(dòng)臺(tái)

±0.1°的tip-tilt精密調(diào)整
高精度無限制旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)
恒剛度磁浮重力補(bǔ)償技術(shù)
高定位精度、優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)控制能力及卓越的穩(wěn)定性

圓筒式音圈電機(jī)

圓筒式音圈電機(jī)

結(jié)構(gòu)簡單、體積小
速度快、加速度大
推力大，響應(yīng)時(shí)間快
閉環(huán)控制定位精度可達(dá)到納米級(jí)別

平面式音圈電機(jī)

平面式音圈電機(jī)

結(jié)構(gòu)簡單、體積小
速度快、加速度大
推力大、響應(yīng)時(shí)間快
閉環(huán)控制定位精度可達(dá)到納米級(jí)別

磁浮式音圈電機(jī)

磁浮式音圈電機(jī)

結(jié)構(gòu)簡單，體積小
采用動(dòng)磁結(jié)構(gòu)，無移動(dòng)線纜，具有高可靠性、壽命和高加速度
垂向磁浮重力補(bǔ)償，減小電機(jī)發(fā)熱
可選零剛度或恒剛度磁浮重力補(bǔ)償
可選水冷線圈，實(shí)現(xiàn)更高連續(xù)力和峰值力
閉環(huán)控制定位精度可達(dá)到納米級(jí)別
可適應(yīng)于真空環(huán)境

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