多軸微動臺擁有四個各自獨立的自由度，包括—個旋轉(zhuǎn)軸、一個垂直軸及兩個搖擺和傾斜修正軸。 Z3T70模塊結(jié)構(gòu)非常緊湊，具備優(yōu)異的定位精度和動態(tài)特性。該模塊不僅能提高運動系統(tǒng)精度，簡化設(shè)計難度，還可顯著提升設(shè)備的可靠性和集成度，降低設(shè)備的復(fù)雜性和總體成本，提高性價比。其獨特的磁浮重力補償技術(shù)大幅降低了垂向執(zhí)行器的發(fā)熱，從而有效保障了垂向的納米級定位精度。
|
Z3T70-40 |
|||
|
|
Fine Z |
Tip-Tilt |
Theta |
|
電機類別 |
DD |
||
|
負載 |
2 Kg |
||
|
驅(qū)控 |
ACS |
||
|
環(huán)境溫度 |
22±1℃ |
||
|
行程 |
4 mm |
±0.1° |
infinite |
|
驅(qū)動質(zhì)量（不含吸盤） |
4 Kg |
/ |
2 Kg |
|
模塊質(zhì)量（不含吸盤） |
10 Kg |
||
|
最大軸向負載 |
2.2 Kg |
||
|
最大速度 |
0.03 m/s |
- |
15 rad/s |
|
最大加速度 |
0.5 m/s2 |
- |
100 rad/s2 |
|
位置穩(wěn)定性 |
±10 nm |
- |
±0.05 μrad |
|
單向重復(fù)性 |
- |
- |
- |
|
雙向重復(fù)性 |
±0.05 μm |
- |
±0.5 arcsec |
|
徑跳 |
- |
- |
±3.5μm |
|
軸跳 |
- |
- |
±3 μm |
|
信號類別 |
增量式 |
||
|
輸出信號 |
TTL |
1Vpp |
|
在Z3T70產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實際應(yīng)用選擇的可選項?？蛇x內(nèi)容包括編碼器、T軸硬限位和控制系統(tǒng)等選項。
表1 編碼器選項
|
-S1 |
增量式模擬光學(xué)式編碼器，1Vpp |
|
-S2 |
增量式數(shù)字光學(xué)式編碼器，RS422 |
